超純水監(jiān)測儀對實(shí)驗(yàn)室純水在線監(jiān)測都采用同一種基本原理，是純水經(jīng)過超長波長的紫外光燈會制造氧化有機(jī)物，而在有機(jī)碳轉(zhuǎn)化為二氧化碳時(shí)會令水的電導(dǎo)率有效提升，而總有機(jī)碳的參數(shù)就可從電導(dǎo)率的轉(zhuǎn)變進(jìn)行丈量。會保證水中總有機(jī)碳在實(shí)驗(yàn)要求下TOC含量已經(jīng)達(dá)到域值。因此，不同種類的總有機(jī)碳監(jiān)測在實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備中精密而昂貴的，而且體積較大，不易于實(shí)驗(yàn)室純水系統(tǒng)。

　　而其它小型實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)對有機(jī)碳監(jiān)測都采用旁路測試。它們在每一段預(yù)定時(shí)間內(nèi)把純水從旁路引到紫外光反應(yīng)盒內(nèi)，待水中的有機(jī)物氧化成二氧化碳。由二氧化碳產(chǎn)生的電阻率差異在反應(yīng)盒內(nèi)或另一外置的電阻表丈量。相反，如選用旁路的工業(yè)總有機(jī)碳監(jiān)測系統(tǒng)，就不能達(dá)到理想的效果。另外，用旁路的總有機(jī)碳監(jiān)測亦需時(shí)間將樣本從純水管道引入反應(yīng)盒以及完成氧化過程后，總有機(jī)碳的數(shù)值才能顯示到面板上。也就是說，如果純水中的有機(jī)物有任何變化。

　　超純水監(jiān)測儀雜質(zhì)含量的監(jiān)測：理想的情況下，監(jiān)控所有潛在的重要雜質(zhì)，但不知道潛在的雜質(zhì)有哪些，因而要定期監(jiān)測所有這些雜質(zhì)是不實(shí)際的。要控制水中的雜質(zhì)含量，需要確定被監(jiān)視指標(biāo)的特性或需要符合的標(biāo)準(zhǔn)：對不同化合物敏感的，可以非常迅速地被監(jiān)測的，可以連續(xù)被監(jiān)測的，可以被監(jiān)測并且具有足夠的靈敏度和準(zhǔn)確度的。

　　超純水中有機(jī)雜質(zhì)對實(shí)驗(yàn)的影響很大，因而，總有機(jī)碳（TOC）和電阻率一樣，成為水純度的重要指標(biāo)。TOC是有機(jī)污染物整體含量一個很好的指標(biāo)。就其本身而言，現(xiàn)在還沒有，以后也不會有比TOC更好的指標(biāo)。有機(jī)化合物種類和含量千差萬別，與TOC值的對應(yīng)關(guān)系比較不固定，因此，高準(zhǔn)確度的TOC監(jiān)測意義不大；而連續(xù)且不會錯過有機(jī)雜顏含量變化的TOC在線監(jiān)測尤為重要，TOC的變化可能毀掉一次分析實(shí)驗(yàn)。